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電子特氣管道高純氣體管路的設(shè)計要點(diǎn)

2022-11-25 10:33:13

  特種氣體的供應(yīng)方式截至目前為止,幾乎皆用鋼瓶的方式進(jìn)行。一般常用的為高壓鋼瓶,依其填充的氣體特性有分為氣態(tài)和液態(tài)兩種。一般氣體依液態(tài)儲存于鋼瓶內(nèi),瓶內(nèi)壓力較高,所以最佳方式是選用吸附式氣態(tài)鋼瓶,以氣體分子與吸附劑間的范德瓦力將氣體吸附于吸附劑孔隙中,其優(yōu)點(diǎn)為供氣壓力低于一個大氣壓,無任何泄漏的危險,且供氣量為普通高壓鋼瓶的10倍,低蒸汽壓的氣體以液態(tài)儲存于鋼瓶內(nèi);針對易燃易爆,有毒性腐蝕性的氣體,常將鋼瓶至于特氣柜中,再通過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥箱,經(jīng)過一系列的控制而后進(jìn)入用氣點(diǎn);一般惰性氣體以開放式的氣瓶架和閥盤供應(yīng),下面由深圳普萊斯特廠家分享電子特氣管道高純氣體管路的設(shè)計要點(diǎn):



  1.對于不同特性的氣體,要規(guī)劃獨(dú)立的供應(yīng)區(qū)域,一般分為三個區(qū):腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū),將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理,可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口,若空間不足,可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。


  2.管路設(shè)計需要考慮輸送的距離,距離越長,成本越高,風(fēng)險也越高,通常較合理的設(shè)計流速為20ml/S,可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S,在用量設(shè)計方面,則需要考慮使用點(diǎn)的壓力和管徑大小,前者與氣體特性有關(guān),后者使用點(diǎn)的管徑一般為1/4”~3/8”。


  3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況,高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長;宜采用不封閉的環(huán)形管路,在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體,以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通,不會發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。


  4.管路中應(yīng)減少不流動氣體的“死空間”,不應(yīng)設(shè)有盲管,在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除,以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物,降低氣體純度。


  5.對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。


  6.為了檢測高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測采樣口,以便按規(guī)定時間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。


  7.在亞微米級的集成電路生產(chǎn)中,要求供應(yīng)10-9級的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度,使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。